香川県産業技術センター設備機器情報

設備名電界放出型分析走査電子顕微鏡
メーカーSEM本体:日本電子
SDD検出器:オックスフォードインストゥルメンツ
型式SEM本体:JSM-7001F
SDD検出器:INCA Energy
分野化学・分析
用途各種材料における微細構造の高分解能観察及び元素分析
性能【SEM本体】
・倍率:10〜1,000,000倍
・二次電子分解能:1.2nm(30kV),3.0nm(1kV)
・電子銃:ショットキー電界放出型
・試料サイズ:Φ86mm×高さ40mmの全面観察が可能
【X線検出器】
・シリコンドリフト検出器(検出元素:Be−U)
・ライン分析、マッピング可能
設置年度平成23年度
補助事業名国交付金
(地域活性化交付金(住民生活に光をそそぐ交付金))
担当者1森川彩花
担当者2横田 耕三

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