香川県産業技術センター設備機器情報

設備名レーザー顕微鏡
メーカーレーザーテック
型式OPTEICS HYBRID L3
分野精密測定
用途微小領域の高解像度画像観察、3D形状測定、非接触表面粗さ測定など
性能・光学系:共焦点光学系
・光源:405nm半導体レーザー光および白色光の2光源
・XYステージ:ストローク150mm、電動
・Z駆動:80mm、電動 (高さ測定範囲:8mm)
・対物レンズ:5倍、10倍、20倍、50倍、100倍
・幅測定再現性:3σ=0.01μm(対物レンズ100倍使用時)
・段差測定再現性:σ=0.010μm(対物レンズ100倍使用時)
・測定観察機能:高さ、幅、3D、距離、面積、体積等の各種形状測定機能、白色干渉測定機能、画像連結機能など
・粗さ測定機能:JIS規格(JISB0601-94、01)およびISO規格に準拠
設置年度平成28年度
補助事業名 JKA補助事業
keirin
担当者1熱田 俊文
担当者2松島 康晴

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